高純電子級氣體下游應用都有哪些？

在工業中，常溫常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。工業氣體是現代工業的原料，在經濟中發揮著重要作用。

根據不同的處理工藝和應用領域，它可以分為散裝氣體和特殊氣體。散裝氣體主要包括空氣分離氣體，如氧氣、氮氣和氬氣，以及合成氣體，如乙炔和二氧化碳。氣體純度要求不高，主要用于冶金、石化、煤化工和鋼鐵。特殊氣體有很多種，主要包括高純度氣體、混合氣體等。，主要用于電子、光伏和醫療等新興行業。用于制造半導體的電子氣體屬于特殊氣體。

作為特種氣體的一個重要分支，用于替代大型電子產品的國內特種氣體（以下簡稱特種電子氣體）是集成電路（IC）、顯示板（LCD、OLED）、光伏能源、玻璃纖維和電纜等電子工業制造中不可或缺的關鍵原材料。它們廣泛應用于薄膜、光刻、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。它們的質量對電子元件的性能有重要影響。在中國，高純度電子質量氣體主要用于集成電路、顯示板、LED和太陽能領域。其中，集成電路和記分板對電子氣體的需求占下游總需求的79%。

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